我们通常使用的机械泵有：液环泵、旋片泵、滑阀泵。旋片泵和滑阀泵一定要使用气镇装置，因为旋片泵、滑阀泵不能直接把水燕器排到大气中去是由于水蒸汽进入机械泵工作室后将被压缩，当达到相应的饱和蒸汽压时，水蒸汽投有足够能力打开排气阀而滞留在泵内，液体同泵油混合改变了泵油的物理化学性能，使泵的抽气性能下降。为避免凝结液对泵性能的影晌，*简单的工艺方法是通过掺气来防止水蒸汽在泵内凝结，这就需要安装有掺气阀的真空泵。
工作时，通过掺气阀向压缩空间掺进一定数量的气体，使之与水蒸汽混合，在压缩过程中水蒸汽尚未凝结之前，混和气体的压强己超过一个大气压，于是能推开排气阀排出泵外，这就达到了排除水蒸汽的目的，另一种方法就是在真空系统中安装冷凝器，把真空室蒸发出来的水蒸器在冷凝器内凝结下来，防止进入泵内，但在热天气温相对较高的情况下，由于使用的冷却介质是常温下的自来水，它没有足够的冷量使水蒸器凝结，这样真空室蒸发的水蒸汽经冷凝器被抽到机械泵内，冷凝器只起到侧挡板的作用，如果要使冷凝器发挥效果，必须降低冷却介质的湿度，添置一套冷冻机组。当电容器在真空罐内经过一段时间的低真空加热干燥后，经检侧其绝缘电阻曲线趋向一定值，而损耗曲线趋向很小时，说明低真空干燥的己经结束，可以进入下一步高真空阶段处理。
