排除空压机电源故障后，进一步检查空压机的工作情况∶以往一个上午空压机*多启动三、四次，而现在每隔10min空压机就要启动一次。据此，怀疑气动系统漏气而导致空压机频繁起动。此时不开电镜，接通空压机电源，当空压机压力升至4.7×100kPa时空压机自动停机，10min后，空压机的压力表表头读数并无下降，说明空压机及空压机至电镜电磁换向阀之间的管道是完好的；另外，本机装有图像分析处理系统，其采集部分的运动亦由压缩空气驱动，这个气动操作系统的管道亦连接在电镜的电磁换向阀管路之前，故其气动操作系统的漏气也排除在外，同时也说明电磁换向阀在没有动作之前没有漏气。*后，对各路电磁换向阀分别单独通电，在10min后观察其气压下降的数值以确定哪一路电磁换向阀漏气。
具体做法是∶（1）电镜各部分全部放气，令各部分气压与大气压力平衡。（2）关机并切断电源。（3）取一和电磁换向阀电源连接插头尺寸相当的连接器与24V稳压电源相连。（4）打开镜筒台后面的上盖板，拔下SV2阀电源插头，将上述电源连接器插入SV2的插座，接通24V稳压电源，该阀上方的红色指示灯亮，显示其在动作状态，此时先后记录当前和10min后空压机的压力读数。（5）复原SV2插头，再重复上述试验，其结果不变，故可以肯定是电磁换向阀漏气，其中以SV3和SV4*为严重应予更换。由于只有一个备件，故仅以此备件更换SV4.考虑到SV18的功能是控制气缸升降电子枪，它使用的机会很少且与电镜工作不同步，为了应急使用，把SV3与SV18对调。换毕，对电镜重抽真空，经试用发现压缩机的起动次数大为减少。电镜恢复正常工作。
