退火炉是在半导体器件制造中使用的一种工艺，其包括加热多个半导体晶片以影响其电性能。热处理是针对不同的效果而设计的。可以加热晶片以激活掺杂剂，将薄膜转换成薄膜或将薄膜转换成晶片衬底界面，使致密沉积的薄膜，改变生长的薄膜的状态，修复注入的损伤，移动掺杂剂或将掺杂剂从一个薄膜转移到另一个薄膜或从薄膜进入晶圆衬底。
一换向阀和截止阀部分故障发生后，主监控屏幕上方会出现报警信息。根据告警内容可初步确定故障设备。告警详细说明下:V101阀位告警、V105阀位告警、加热段气体换向告警、加热段空气换向告警、绝缘段气体换向告警、绝缘段空气换向告警。其中V101阀为加热段气体快速切断阀，V105阀为保温段气体快速切断阀。每个装置由动作部分和阀门位置反馈部分组成。动作部分由带有气动元件的电磁阀操作。
故障处理:出现上述告警后，首先查看告警设备在主监控屏幕上显示的颜色，判断其状态。
如果快速切断阀显示黄色,换向阀显示红色“X”,也就是说,行程不到位,检查行程是否分开的设备,如果没有,可以打开行程开关,检查是否中风的凸轮不到位,适当调整最大弧度压力弹簧。
如果快速切断阀或换向阀显示为红色或绿色，则可确定其行程正常，调查的重点在动作部分。检查动作部分时，现场前观察电磁阀的两个插头上是否有灯光。如果两者都不亮，那就是电气故障。然后，如果出现了光亮，可以将两个插头取下，用光亮的插头依次插在两个电磁阀插座上进行插拔试验，如果气缸没有动作，则是机械故障。如果气缸动了，那是电气故障。
二、模拟量部分
这里的模拟量是指温度、压力、流量等。除空气总压力和气体总压力外，其他模拟量不参与控制。
三、控制阀部分
调节阀可参考其相关温度来确定设备是否工作正常。如有故障，先关闭电源控制柜的电源，现场打开阀盖，确认阀模未充电，再用内六角扳手旋转阀体。如果转动感觉很卡滞，那是机械故障，如果转动感觉平稳，那是电气故障。
